晶圆制造

当今，集成电路行业的不断发展，引领信息社会进入大数据时代，而维持集成电路行业不断进步的深层技术原因，正是在摩尔定律的驱动下，作为集成芯片基石的微电子器件更新换代。微电子器件技术的开发涉及复杂的先进工艺、多层次的物理机理。进入纳米时代，器件开发越发困难，因此借助计算机，通过求解物理方程，对器件工艺、内部机理和外部电特性等行为进行模拟仿真，从而获得符合要求和优化的器件设计，即技术计算机辅助设计（TCAD）。在新技术预研和导入阶段，采用TCAD成为了IDM和foundry工厂的普遍做法。因而我们需要开发一款具备三维仿真能力、物理清晰、计算精度高速度快的器件仿真工具。

eTCAD是建立在半导体物理基础之上的数值仿真工具，可以对不同工艺条件进行仿真，也可以对不同器件进行设计和优化，对电路性能和器件的电学特性进行模拟。eTCAD包含建模、剖分（支持有限差分法和有限体积法）、仿真和可视化等工具组件，基于python脚本语言可以自由组件各种仿真场景的用户自动化平台，支持各种CMOS工艺器件模型。